7月15日，“至纯集团合肥至微项目”在合肥新站高新区举行量产仪式。该项目投资约10亿元，包括晶圆再生和半导体部件再生。其中，晶圆再生项目是服务于中国半导体高阶市场的首条量产的十二英寸晶圆再生产线，不仅填补了产业链的空白，也为合肥打造“中国IC之都”提供了强劲支撑。

成为国内首条量产的晶圆再生生产线

合肥至微半导体有限公司是上海至纯洁净系统科技股份有限公司旗下半导体晶圆再生和部件再生项目的载体，为集成电路企业十二英寸晶圆提供晶圆再生及零部件再生服务。该项目投资约10亿元，于2020年3月在新站高新区正式开工，2021年3月开始试生产，现在正式进入量产阶段。

其中，晶圆再生项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条量产的十二英寸晶圆再生产线。据介绍，晶圆再生指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。

据介绍，该项目全面达产后，可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力，满产后年产值至少可超过6亿元。

填补产业链空白，让合肥更加“芯光灿烂”

作为国内首个立项又最先量产的十二英寸晶圆再生工厂，该项目的量产，填补了集成电路产业链的又一个空白。

经过多年发展，合肥已成为国内集成电路产业发展最快、成效最显著的城市之一。而新站高新区则是合肥市“芯屏”产业的“主阵地”。其中，以京东方、维信诺等企业为依托，新站高新区已成为全国规模最大、技术方向最齐全的新型显示产业基地。而随着晶合、新汇成、奕斯伟、上海新阳等一批龙头企业相继投产，设计、制造、材料、封测全产业链条不断壮大，新站高新区也成为全国重要的集成电路产业板块，是很多半导体企业眼中主体集聚、配套齐全，环境优越的投资热土。

新站高新区有关负责人表示，“合肥至微”一期项目的成功量产，将成为国内最早具备12英寸晶圆再生及关键设备零部件再生能力的项目之一，这为新站高新区集成电路产业链添上重要一环，也为合肥市集成电路产业高质量发展注入了新的动力，让合肥集成电路产业更加“芯光灿烂”。